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MS6-CA手动光刻机）产品参数
●曝光面积：160mm*160mm
●曝光分辨率：接触式曝光0.8μm-1μm
●对准精度：±1-1.5μm
●光源强度：35mW/cm²
●UV光源：进口LED模块
●曝光中心波长：365nm
●光源寿命：1万小时，光源平行性：≤2°
●曝光分辨率：接触式曝光0.8μm-1μm
●照度不均匀性：≤3%
●曝光设定：定时
●可执行曝光模式：真空接触、硬接触、压力接触、接近式
●间隙设定方式：数字设定曝光间隙0-1200μm
●可调，可自动分离和消除间隙
●样片、掩模版相对移动范围：X:±5mm，Y:±5mm，θ=±6°
●掩模版找平方式：球气浮自动找平
●可支持掩模版尺寸：3"×3"、4"×4"、5"×5"、7"×7"各一件
●标配承片台：2英寸、3英寸、4英寸、6英寸
●标准配件可兼容样片厚度：0.1-5mm,其他尺寸可定制
●对准系统：光学+CCD，显微倍数：放大倍率：150倍-720倍可调
●双物镜可调距离范围：30mm-120mm
产品货期: 60天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
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