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我们的 Fiji® 系列是一种模块化、高真空热原子层沉积系统，采用灵活的架构和多种前驱体和等离子体气体配置，可适应各种沉积模式。Fiji G2 是下一代 ALD 系统，能够执行热成像和等离子体增强沉积。
我们应用了先进的计算流体动力学分析来优化斐济®反应堆、加热器和陷阱的几何形状。该系统的直观界面使监控和根据需要更改配方和流程变得容易。
专有的腔室涡轮增压泵系统
改进的等离子体设计
符合人体工程学的操作界面
原位椭圆偏振仪
原位石英晶体微天平
综合臭氧
手套箱接口
Fiji® 提供多达 6 条前驱体管线，可容纳固体、液体或气体前驱体，以及 6 条等离子气体管线，在紧凑且经济的占地面积中提供了显着的实验灵活性。
产品货期: 60天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
VEECO原子层沉积Fiji的工作原理介绍
原子层沉积Fiji的使用方法?
VEECOFiji多少钱一台?
原子层沉积Fiji可以检测什么？
原子层沉积Fiji使用的注意事项？
VEECOFiji的说明书有吗？
VEECO原子层沉积Fiji的操作规程有吗？
VEECO原子层沉积Fiji报价含票含运吗？
VEECOFiji有现货吗？
