看了等离子体刻蚀设备的用户又看了
EIS-1500是由ELIONIX研发的108mm的大直径光束，通过充分利用光束面内分布监控功能，可以实现各向异性干法蚀刻的离子束刻蚀机。
◇适合精细加工
由于 ECR 等离子体是在低气压环境中产生的，因此可以提取高度笔直的光束。 大量的低能离子被加速并被引导到更高真空的样品室中进行处理。 这是适合纳米蚀刻加工的系统。
◇低损伤蚀刻
离子枪 | ECR型离子枪 |
电离气体 | Ar、Xe等、惰性离子种类的气体 N2、O2、C3F8等、活性离子种类的气体 |
加速电压 | 300 ~ 2000 V 连续可变 |
离子流密度 | Ar: 0.16 ~ 0.20 mA/cm2 以上 (700V加速时） |
离子束有效直径 | Φ 108 mm |
气体导入机构 | 自动流量制御 大6系統 |
大试样尺寸 | Φ 6英寸晶片 |
产品货期: 60天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
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