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产品特点
◇8英寸/12英寸产品阵容
实现了业界个完整的12英寸曝光区域。在研究开发中经常使用的小片尺寸中，我们支持2/3/4/5/6/7/8/12英寸尺寸的晶圆进行曝光，掩膜板的6025或9025尺寸也能进行曝光。
◇自动传输机制的完整阵容
除了通常用于研究和开发目的的单台自动装载机外，您还可以从可处理中小批量生产的多台自动装载机和机器人装载机的完整阵容中选择佳的传输机构。
◇用户友好的软件
新的设备控制软件“elms"作为标准安装。 通过对CAD转换、光束调整、绘图执行、SEM观察等各种功能进行组织和划分，可以更容易地找到所需的功能，并大大提高了可操作性。 由于还有账户管理功能，可以根据用户别限制功能。
主要规格
电子枪 | ZrO/W 热场发射型 | |||
加速电压 | 50 kV | 100 kV | 125 kV | 150 kV |
光束电流 | 1 nA ～ 800 nA | 20 pA ～ 100 nA | 5 pA ～ 100 nA | 5 pA ～ 100 nA |
小光束直径 | D 2.8 nm | D 1.8 nm | D 1.7 nm | D 1.5 nm |
标准写场大小 | 1000 μm□ | 1000 μm□ | 500 μm□ | 500 μm□ |
小/大写场大小 | 小 100 μm □ 大（选项）3000 μm□ | |||
扫描频率 | 大 100 MHz | |||
发射间距 | 小 0.2 nm | |||
大试样尺寸 | 8" 晶片 / 12" 晶片 | |||
大绘图区域 | 200 mm x 200 mm / 300 mm x 300 mm | |||
搬送机构 | 单自动加载器 多自动加载器 机器人装载机 | |||
Software | elms 束流调整功能 曝光文件功能 图案数据转换功能 帐户管理功能 Python脚本 | |||
产品货期: 60天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
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