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| 分辨率 | 0.28µm |
| N.A. | 0.62 |
| 曝光光源 | 365nm |
| 倍率 | 4:1 |
| 最大曝光现场 | 25mm*33mm |
| 对准精度 | LSA：40nm FIA：45nm |
产品货期: 60天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
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