步进式光刻机
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NIKON

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Nikon NSR 2005i10C

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亚洲

  • 银牌
  • 第2年
  • 一般经销商
  • 营业执照已审核
核心参数
Nikon NSR 2005i10C
Nikon NSR 2005i10C步进式光刻机
光源波长365nm
分辨率优于0.45µm
主要用于2寸、4寸、6寸及8寸生产线
广泛应用于化合物半导体、MEMS、LED等领域
产品详情
主要技术指标

分辨率0.45µm
N.A.0.57
曝光光源365nm
倍率5:1
最大曝光现场20mm*20mm
对准精度

LSA:100nm
FIA:110nm




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产品货期: 60天

整机质保期: 1年

培训服务: 安装调试现场免费培训

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