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仪器信息网 典型用户 广东省半导体产业技术研究院

广东省半导体产业技术研究院

广东省 科研单位

广东省半导体产业技术研究院拥有感应耦合等离子刻蚀设备、光刻机、金属电子束蒸发台、椭偏仪、高温MOCVD设备、磁控溅射设备、小型电子束蒸发台、光致发光荧光光谱仪、原子力显微镜、变温PL系统等科研仪器。

高温MOCVD设备

型号：CCS FT 3*2''

品牌：德国

化学气相沉积（CVD）

倒装焊机

型号：FINEPLACER lambda

品牌：TE

甲烷/非甲烷烃检测仪

感应耦合等离子刻蚀设备

型号：PlasmaPro System 133ICP380

品牌：牛津

等离子体表面处理仪

椭偏仪

型号：UVISEL

品牌：BI

椭偏仪

等离子增强化学气相沉淀设备（PECVD）

型号：PlasmaPro 800Plus

品牌：牛津

化学气相沉积（CVD）

光致发光荧光光谱仪

型号：M-200

品牌：RL

激光诱导击穿光谱仪（LIBS）

小型电子束蒸发台

型号：DE400

品牌：TE

色谱检测器/蒸发光检测器/紫外检测器

磁控溅射设备

型号：PVD75Proline

品牌：SK

物理气相沉积（PVD）

ITO电子蒸发台

型号：Peva-600I

品牌：台湾聚昌科技股份有限公司

色谱检测器/蒸发光检测器/紫外检测器

MOCVD设备

型号：48片机

品牌：广东省中科宏微半导体设备有限公司

化学气相沉积（CVD）

多片氮化物MOCVD设备

型号：48片机

品牌：广东省中科宏微半导体设备有限公司

化学气相沉积（CVD）

金属有机化合物气相沉积系统（MOCVD）

型号：CRIUS31*2

品牌：德国

化学气相沉积（CVD）

金属电子束蒸发台

型号：Peva-600E

品牌：台湾聚昌科技股份有限公司

纯元素、稀土、稀贵金属及合金

光刻机

型号：ABM/6/350

品牌：AB

光刻机

原子力显微镜

型号：Dimension Edge

品牌：布鲁克

数码显微镜

X射线双晶衍射仪

型号：Smartlab 9kw

品牌：理学

X射线衍射仪(XRD)

变温PL系统

型号：iHR550

品牌：BI

其它通用分析
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相关仪器品类

纯元素、稀土、稀贵金属及合金
化学气相沉积（CVD）
光刻机
物理气相沉积（PVD）
色谱检测器/蒸发光检测器/紫外检测器
激光诱导击穿光谱仪（LIBS）
X射线衍射仪(XRD)
其它通用分析
数码显微镜
椭偏仪
等离子体表面处理仪
甲烷/非甲烷烃检测仪

所使用品牌

布鲁克

1383台仪器 78家供应商

理学

188台仪器 28家供应商

AB

1台仪器 4家供应商

牛津

20台仪器 2家供应商

TE

11台仪器 1家供应商

BI

6台仪器 1家供应商

RL

1台仪器 1家供应商

SK

0台仪器 1家供应商

德国

0台仪器 1家供应商