典型用户

金属电子束蒸发台

纯元素、稀土、稀贵金属及合金品牌：台湾聚昌科技股份有限公司型号：Peva-600E

仪器名称：

金属电子束蒸发台

英文名称：

所属分类：

工艺试验仪器 > 加工工艺实验设备 > 热处理加工工艺实验设备

学科领域：

信息科学与系统科学物理学化学材料科学

主要技术指标：

基板尺寸：2、4、6英寸；基板加热：最高温度250℃，控温精度1℃；系统极限真空度： 2×10-7 torr；蒸发源数量：6个坩埚；可蒸发金属：Ti、Al、Ni、Au、Pt、Ag、Ni等；膜厚均匀性：≤±5%；

主要功能：

电子束蒸发台常见于镀膜工艺流程，其原理是利用加速后的电子能量打击材料标靶，使材料标靶蒸发升腾，最终沉积到目标基底上。主要用于Ti、Al、Ni、Au、Pt、Ag、Ni等金属的镀膜，一炉可以依次蒸镀6种不同金属，可以蒸镀高熔点金属Pt、W等

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广东省半导体产业技术研究院

广东省科研单位

广东省半导体产业技术研究院拥有感应耦合等离子刻蚀设备、光刻机、金属电子束蒸发台、椭偏仪、高温MOCVD设备、磁控溅射设备、小型电子束蒸发台、光致发光荧光光谱仪、原子力显微镜、变温PL系统等科研仪器。

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