典型用户

小型电子束蒸发台

色谱检测器/蒸发光检测器/紫外检测器品牌：TE 型号：DE400

仪器名称：

小型电子束蒸发台

英文名称：

所属分类：

工艺试验仪器 > 加工工艺实验设备 > 热处理加工工艺实验设备

学科领域：

材料科学

主要技术指标：

镀膜室开门后抽至5*10-7Torr的时间少于30分钟;基片通过预真空室装样后，镀膜真空恢复原真空时间小于10分钟；实现蒸镀高熔点金属功能，如蒸铂，钨等。

主要功能：

在真空条件下利用电子束进行直接加热蒸发材料，使蒸发材料气化并向基板输运，在基底上凝结形成薄膜，能够兼容2-6吋基板。

典型用户

广东省半导体产业技术研究院

广东省科研单位

广东省半导体产业技术研究院拥有感应耦合等离子刻蚀设备、光刻机、金属电子束蒸发台、椭偏仪、高温MOCVD设备、磁控溅射设备、小型电子束蒸发台、光致发光荧光光谱仪、原子力显微镜、变温PL系统等科研仪器。

布鲁克

1383台仪器 78家供应商

理学

188台仪器 28家供应商

1台仪器 4家供应商

牛津

20台仪器 2家供应商

11台仪器 1家供应商

6台仪器 1家供应商

1台仪器 1家供应商

德国

0台仪器 1家供应商