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椭偏仪

椭偏仪品牌：BI 型号：UVISEL

仪器名称：

椭偏仪

英文名称：

所属分类：

物理性能测试仪器 > 光电测量仪器 > 光偏振态分析仪

学科领域：

物理学材料科学

主要技术指标：

光谱范围210-880nm，有效覆盖深紫外-近红外光谱波段椭偏测量范围：Ψ=0-90°，Δ=0-360° 高灵敏度，UVISEL采用光弹调制器PEM作为核心元件，具有50kHz 的快速调制速度；椭偏参数的准确性：95%以上的被测点满足Δ≤00±0.05， Ψ≤450±0.0750（直射测量，即测空气） 30次连续性测量膜厚重复性：优于0.003nm(25nm SiO2 On Si)或者优于0.02nm （80-100nm SiO2 On Si）快速数据采集，保证信噪比的前提下，可以极快地采集数据，达到1ms/point；光斑直径：50μm，100μm，1mm 可检测样品尺寸：碎片或2、4、6英寸薄膜

主要功能：

UVISEL光谱型相调制椭圆偏振仪可应用领域：微电子、显示器、光电子、冶金、生物化学、太阳能、包装、光学、纳米技术、柔软显示材料等领域。主要功能包括：各类薄膜的光学常数测量，包括折射率n、消光系数k、复数介电函数ε、透过率T、反射率R等；各类薄膜、界面层的膜厚、表面粗糙度测量；薄膜禁带宽度、激子束缚能测量；材料各向异性分析；多层膜、多孔材料、高分子薄膜等特殊结构分析。