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光致发光荧光光谱仪

激光诱导击穿光谱仪（LIBS）品牌：RL 型号：M-200

仪器名称：

光致发光荧光光谱仪

英文名称：

所属分类：

分析仪器 > 光谱仪器 > 其他

学科领域：

物理学材料科学

主要技术指标：

激发光源：405nm激光器，最大输出功率100mW，功率连续可调；适用于2、4、6英寸样品，可同时放置6块2英寸样品；样品台X、Y定位150mm，分辨率0.5mm，定位精度0.1mm; PL荧光光谱探测范围：350-800nm 光谱分辨率：光谱分辨率≤0.3nm; 膜厚测试范围：1-19μm，膜厚分辨率：5%; 可单点光谱mapping、单波长mapping、峰值波长mapping、峰值强度mapping等多种模式扫描测量。

主要功能：

光致发光扫描系统可广泛应用于LED晶圆检测、托盘设计等领域。主要功能包括：LED晶圆发光均匀性检测；膜厚均匀性检测；托盘设计；晶圆PL荧光光谱对比。