典型用户

高温MOCVD设备

化学气相沉积（CVD）品牌：德国型号：CCS FT 3*2''

仪器名称：

高温MOCVD设备

英文名称：

所属分类：

工艺试验仪器 > 电子工艺实验设备 > 半导体集成电路工艺实验设备

学科领域：

物理学材料科学

主要技术指标：

xrd半宽、厚度、组分

主要功能：

AlInGaN基材料和器件的外延

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DENTON

2台仪器 2家供应商

耶斯

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典型用户

广东省半导体产业技术研究院

广东省科研单位

广东省半导体产业技术研究院拥有感应耦合等离子刻蚀设备、光刻机、金属电子束蒸发台、椭偏仪、高温MOCVD设备、磁控溅射设备、小型电子束蒸发台、光致发光荧光光谱仪、原子力显微镜、变温PL系统等科研仪器。

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