典型用户

ITO电子蒸发台

色谱检测器/蒸发光检测器/紫外检测器品牌：台湾聚昌科技股份有限公司型号：Peva-600I

仪器名称：

ITO电子蒸发台

英文名称：

所属分类：

工艺试验仪器 > 电子工艺实验设备 > 半导体集成电路工艺实验设备

学科领域：

信息科学与系统科学物理学化学材料科学

主要技术指标：

基板尺寸：2、4、6英寸；基板加热：最高温度350℃，控温精度1℃；系统极限真空度：2×10-7 torr；蒸发源数量：6个坩埚；可蒸发材料：ITO、SiO2等膜厚均匀性：≤±5%；

主要功能：

用于半导体芯片制造环节中ITO、SiO2等化合物的蒸镀

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广东省半导体产业技术研究院拥有感应耦合等离子刻蚀设备、光刻机、金属电子束蒸发台、椭偏仪、高温MOCVD设备、磁控溅射设备、小型电子束蒸发台、光致发光荧光光谱仪、原子力显微镜、变温PL系统等科研仪器。

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