典型用户

磁控溅射设备

物理气相沉积（PVD）品牌：SK 型号：PVD75Proline

仪器名称：

磁控溅射设备

英文名称：

所属分类：

工艺试验仪器 > 加工工艺实验设备 > 热处理加工工艺实验设备

学科领域：

材料科学

主要技术指标：

在40分钟内系统真空能从大气抽到5×10-6Torr；四台溅射靶枪，其中一个靶枪支持强磁性材料；功率不小于600W的RF电源，功率不小于2kw的脉冲直流电源；支持三路工作气体（氩气、氮气、氧气）；带有350℃加热功能；支持溅射金属及合金薄膜、氧化物及化合物介质薄膜。

主要功能：

在真空条件下利用Ar离子轰击靶表面使靶材发生溅射，中性的靶原子或分子沉积在基片上形成薄膜，适合基片最大尺寸不大于6英寸直径。

典型用户

广东省半导体产业技术研究院

广东省科研单位

广东省半导体产业技术研究院拥有感应耦合等离子刻蚀设备、光刻机、金属电子束蒸发台、椭偏仪、高温MOCVD设备、磁控溅射设备、小型电子束蒸发台、光致发光荧光光谱仪、原子力显微镜、变温PL系统等科研仪器。

布鲁克

1383台仪器 78家供应商

理学

188台仪器 28家供应商

1台仪器 4家供应商

牛津

20台仪器 2家供应商

11台仪器 1家供应商

6台仪器 1家供应商

1台仪器 1家供应商

德国

0台仪器 1家供应商