电子束光刻胶 AR-PC 5090.02, 5091.02（导电胶）

特点：

• 用于消除电子束曝光、SEM成像、FIB等工艺中的荷电效应

• 通过旋涂的方式涂胶，操作简单

• 涂胶厚度：40nm @ 4000rpm

• 电子束曝光后可溶于水，非常容易去除，且不损伤衬底材料

• 对紫外光、电子束不敏感，无需黄光室 

  5090.02，适于PMMA、CSAR 62、 HSQ等； 

  5091.02，适于酚醛树脂基电子束光刻胶，如AR-N 7520

导电性：

[注]导电胶电阻测量实验结果：胶层越薄，电阻越大，导电性降低。

应用实例：

欢迎致电咨询（电话：010-82867920/21/22），更多光刻胶信息请查看官网：http://www.germantech.com.cn/new/cplook.asp?id=514