特点:
• 用于亚微米精细结构加工、掩膜板制作、激光干涉曝光等
• 感光波段:Broadband UV、i-line(365nm)、g-line(436nm)
• 高分辨率、高对比度、优异的结构稳定性,可用于亚微米精
细结构的加工
旋涂曲线:
应用实例:
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