特殊功能光刻胶 AR 300-80 new 增附剂

特点：

• 用于增强光刻胶和衬底的黏附性

• 用于紫外光刻胶、电子束光刻胶、特殊功能用光刻胶等

• 采用旋涂的方式进行涂覆，操作简单

• 涂覆厚度：15nm @ 4000rpm

• 和传统的HMDS相比，毒性更小，使用更安全，更经济实惠

• new版本与旧版AR 300-80相比,烘烤温度降低 （60℃ 热板 2min）

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