紫外光刻胶 AR-P 3100（AR-P 3110，3120，3170）

特点：

• 用于掩膜板制作、精细结构加工、激光干涉曝光等

• 感光波段：Broadband UV、i-line(365nm)、g-line(436nm)

• 可得到非常薄且均匀的膜

• 高灵敏度、高分辨率

• 良好的粘附能力，可用于耐干法和湿法刻蚀工艺

旋涂曲线：

应用实例：

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