特点:
• 用于LIGA、X射线掩膜板加工等
• 感光波段:e-beam、X-ray、synchrotron
• 基于PMMA的厚胶
• 涂胶厚度从几微米到上百微米,覆盖能力好
旋涂曲线:
应用实例:
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