电子束光刻胶 AR-P 617 (Copolymer PMMA/MA)

特点：

• 用于高分辨率电子束曝光、单层/多层lift-off工艺等

• 感光波段：e-beam、deep UV(248nm)

• 高分辨率(< 10nm)，高灵敏度(PMMA灵敏度的3~4倍)

旋涂曲线：

应用实例：

欢迎致电咨询（电话：010-82867920/21/22），更多光刻胶信息请查看官网：http://www.germantech.com.cn/new/cplook.asp?id=514

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