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对工艺参数（包括温度、流量和压力）进行精确的软件控制，即使在最敏感的基材上也能实现无缺陷的涂层
获得专利的 ALD Shield™ 蒸汽捕集器可防止沉积物积聚，并最大限度地减少多余的工艺气体排放到环境中
大型工艺室可容纳 GEN 2.5 衬底、多个晶圆盒和更大的 3D 物体
拥有成本低，启动和运营成本最低
占地面积小，可节省宝贵的洁净室空间
标准配方和 ALD 材料一应俱全
来自技术团队和博士科学家的全球全面支持和服务
符合 CE、FCC 和 CSA 标准，具有许多内置安全功能
产品货期: 60天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
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