AL实时监控器
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德国SENTECH

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SENTECH AL

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欧洲

  • 银牌
  • 第2年
  • 一般经销商
  • 营业执照已审核
核心参数

SENTECH AL 实时监测器是一种经过验证的光学诊断工具,可实现单个 ALD 和 ALE 周期的超高分辨率。主要应用是在不破坏真空的情况下分析薄膜特性(生长速率、厚度、折射率以及蚀刻速率),在短时间内开发新工艺,以及实时研究 ALD 和 ALE 周期期间的反应机理。

主要功能与优势

高效的工艺开发和优化

使用单原子层沉积 (ALD) 或原子层蚀刻 (ALE) 循环可以快速轻松地开发和优化原子层工艺。SENTECH AL 实时监测器以 40 ms 的超高时间分辨率显示吸附和解吸。节省了工艺、基材、前驱体和气体的开发时间。

保存前驱体

使用 SENTECH AL 实时监控器进行优化后,ALD 处理变得更加高效。节省了前驱体和处理时间。

前驱体制品控制

当前驱体供应耗尽时,SENTECH AL实时监测器检测到的每个周期的生长变化会立即显示出来。


灵活性和模块化

创新的 SENTECH AL 实时监测器专为快速高效的工艺开发和优化而设计,可使用 SENTECH PEALD 和 ALD 系统进行优化。

一个软件即可轻松操作 SENTECH PEALD 系统、SENTECH ALE 系统和 SENTECH AL 实时监测器。

用于光学常数的大型材料库支持新工艺的开发,并可以通过非原位表征进行扩展。

SENTECH AL 实时监控器集成到 SENTECH SIA 操作软件中,确保操作简单。


售后服务承诺

产品货期: 60天

整机质保期: 1年

培训服务: 安装调试现场免费培训

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AL实时监控器信息由深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供,如您想了解更多关于AL实时监控器报价、型号、参数等信息,深圳市矢量科学仪器有限公司客服电话:400-860-5168转5919,欢迎来电或留言咨询。
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