看了化学机械抛光机（CMP）的用户又看了
适用晶圆尺寸:100mm(4") ~ 300mm(12")
配置:输入喷淋清洗，两个双面刷清洗和旋转漂洗干燥(可选:分离QDR)
清洗机尺寸:1610w 1260d 1640hmm电刷尺寸:070(外径)031(内径)170(长)毫米
预清洗工位:DIW喷雾清洗，工位间DIW帷幕清洗
辊刷工位
化学：nh4oh或DIW
刷头型式:PVA刷头，可同时清洗晶圆片的正反面
刷位调节:手动控制(可用刷隙范围:-10mm ~ 2mm)
转速:<满量程的±5%范围30 ~ 400rpm
化学品供应:4个喷嘴和通过毛刷
可用化学品:2个化学品[NH4OH]
化学和DI流量:<满量程的±5%。
转站
选项:超高速扫描
旋转速度:最高2500转/分DI漂洗/ N2吹
控制工艺流程:手动加载，自动顺序，湿/干液晶触摸屏显示器，程序控制PLC式。
产品货期: 60天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
G&P化学机械平坦CMP设备GNP CLEANER-412R的工作原理介绍
化学机械平坦CMP设备GNP CLEANER-412R的使用方法?
G&PGNP CLEANER-412R多少钱一台?
化学机械平坦CMP设备GNP CLEANER-412R可以检测什么？
化学机械平坦CMP设备GNP CLEANER-412R使用的注意事项？
G&PGNP CLEANER-412R的说明书有吗？
G&P化学机械平坦CMP设备GNP CLEANER-412R的操作规程有吗？
G&P化学机械平坦CMP设备GNP CLEANER-412R报价含票含运吗？
G&PGNP CLEANER-412R有现货吗？
