看了化学机械抛光机（CMP）的用户又看了
适用晶圆尺寸:100mm(4) ~ 200mm(8")
配置:独立配置4个清洗工位用DIW喷雾预清洗两个双面滚刷清洗用氮气吹干旋转漂洗
清洁器尺寸:1800 w 970D 1500 hmm
电刷尺寸:038(OD) 018(ID) 310(L)mm
预清洗工位:DIW喷雾清洗，工位间DIW帷幕清洗
辊刷工位
化学:2个化学泵(每个刷室1个)，NH4OH(< 0.1wt%)或DIW
刷型:双面PVA刷刷位调节:手动控制(可用刷隙范围:-1.5mm ~ 2mm)
转速:<满量程的2%范围30 ~ 400rpm
化学品流量:满量程< 1L/min
DI流量:满量程< 5L/min。
转站
旋转速度:最高2500转/分DIW冲洗/ N2吹扫/强扫
控制工艺:喷淋清洗/双面刷清洗/旋漂干洗/湿洗/干洗
程序控制:PC & PC触摸监控，程序可编程，计算机网络可比
产品货期: 60天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
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