枚叶式PECVD设备_参数_价格-仪器信息网

核心参数

同类推荐

看了镀膜机的用户又看了

产品介绍售后服务承诺用户评论问商家

枚叶式PECVD设备CME-200E/400

枚叶式PE-CVD设备CME-200E/400是适用于Si系绝缘膜、barrier膜等成膜的量产用PECVD设备。

产品特性 / Product characteristics
•27.12MHz高密度等离子制程
•SiH4系：SiO2、SiNx、SiON、a-Si、TEOS系：可对应SiO2膜
•以NF3+Ar Plasma实现腔体清洁功能
•可对应有机EL（OLED）的低温成膜用heater
•使用Tray大可搬送□200mm(CME-200E)的基板尺寸(CME-400:可对应300×400)
产品应用 / Product application
•功率器件
•LED、LD、高速device等化合物相关
•有机EL（OLED）开发
•太阳电池开发
•MEMS
产品参数 / Product parameters

关于公司

1、公司介绍

深圳市矢量科学仪器有限公司成立于 2020年，由武汉大学团队孵化，致力泛半导体实验线、中试线、生产线装备及工艺和厂务技术服务于一体的国家高新技术企业、创新型中小企业、科技型中小企业。

公司主要业务如下:

装备销售:半导体道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试装备、半导体光电测试仪表。

设备服务:驻场或者 oncall，装备维护、保养、售后技术支持。

厂务服务:驻场或者 oncall，人力服务及厂务二次配工程。

经历五年高速发展，2023 年营业额达 3.2 亿，连年复合增长率达 300%，现处于稳定扩张期。

2、成长历程

•2020年（公司成立年）

•2300万订单额

2021年 7000万订单额

2022年 2.5亿订单额

2023年3.2亿订单额

售后服务承诺

产品货期: 60天

整机质保期: 1年

培训服务: 安装调试现场免费培训

用户评论

暂无评论

发评论

问商家

爱发科镀膜机CME-200E/400的工作原理介绍

镀膜机CME-200E/400的使用方法?

爱发科CME-200E/400多少钱一台?

镀膜机CME-200E/400可以检测什么？

镀膜机CME-200E/400使用的注意事项？

爱发科CME-200E/400的说明书有吗？

爱发科镀膜机CME-200E/400的操作规程有吗？

爱发科镀膜机CME-200E/400报价含票含运吗？

爱发科CME-200E/400有现货吗？

枚叶式PECVD设备信息由深圳市矢量科学仪器有限公司为您提供，如您想了解更多关于枚叶式PECVD设备报价、型号、参数等信息，欢迎来电或留言咨询。

推荐分类同类仪器该厂商仪器相关厂商推荐品牌