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干法刻蚀设备 APIOS NE-950EX
产品特性 / Product characteristics
• 4inch晶圆可放置7片同时处理,6inch晶圆可实现3片同时处理,小尺寸晶圆方面,2inch晶圆可实现29片、3英寸可对应12片同时处理。
产品应用 / Product application
• 对应LED的GaN、蓝宝石、各种金属、ITO等的干法刻蚀设备
产品参数 / Product parameters
产品货期: 60天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
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