Load-lock式Plasma CVD设备 CC-200/400
Load-lock式Plasma CVD设备CC-200/400是小型的使用便利的可对应从研究开发到量产的设备。
产品特性 / Product characteristics
•27.12MHz高密度等离子制程
•SiH4系：SiO2、SiNx、SiON、a-Si、TEOS系：可对应SiO2膜
•以CF4+O2 Plasma实现腔体清洁功能
•可对应有机EL（OLED）的低温成膜用heater
•使用Tray可搬送多种基板尺寸
•通过使用真空Box实现C系列的间接连续制程（Sputter: CS-200, Evaporation: CV-200）
产品应用 / Product application
•功率器件
•LED、LD、高速device等化合物相关
•有机EL（OLED）开发
•太阳电池开发
•MEMS
产品参数 / Product parameters
公司介绍
深圳市矢量科学仪器有限公司成立于 2020年，由武汉大学团队孵化，致力泛半导体实验线、中试线、生产线装备及工艺和厂务技术服务于一体的国家高新技术企业、创新型中小企业、科技型中小企业。
公司主要业务如下:
装备销售:半导体道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试装备、半导体光电测试仪表。
设备服务:驻场或者 oncall，装备维护、保养、售后技术支持。
厂务服务:驻场或者 oncall，人力服务及厂务二次配工程。
经历五年高速发展，2023 年营业额达 3.2 亿，连年复合增长率达 300%，现处于稳定扩张期。
成长历程
•2020年（公司成立年）
•2300万订单额
2021年 7000万订单额
2022年 2.5亿订单额
2023年3.2亿订单额
