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研究开发向NLD干法刻蚀设备NLD-570
产品特性 / Product characteristics
•NLD用于与ICP方式相比更低压、高密度、更低电子温度等离子体的石英、玻璃、水晶、LN/LT基板的加工。
产品应用 / Product application
• 光学器件(光衍射格子、変调器、光开关等等)、凹凸型微透镜。流体路径作成或光子学结晶。
产品参数 / Product parameters
产品货期: 60天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
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