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枚叶式等离子CVD设备CMD系列
产品特性 / Product characteristics
•和传统的工艺温度相比，每个unit的驱动系统可以在更高的温度下运行、开发真空搬送机械手来实现搬送系统的稳定性。
•通过改善反应室的内部结构、气体供给系统，达到长期稳定的TEOS(SiO2)膜速率。
•通过加热反应气体的通道，在排除设备中的气体排出、抑制配管Trap未使用时的配管副生成物的粘附、可以缩短保养时间。
•可以轻松的完成单独基板管理，如成膜条件。
产品应用 / Product application
•低温P-Si、α-Si TFT
产品参数 / Product parameters
产品货期: 60天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
爱发科镀膜机CMD系列的工作原理介绍
镀膜机CMD系列的使用方法?
爱发科CMD系列多少钱一台?
镀膜机CMD系列可以检测什么？
镀膜机CMD系列使用的注意事项？
爱发科CMD系列的说明书有吗？
爱发科镀膜机CMD系列的操作规程有吗？
爱发科镀膜机CMD系列报价含票含运吗？
爱发科CMD系列有现货吗？
