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核心参数
产地类别： 进口
仪器类别： 光学图形化缺陷检测设备
检出率： 缺陷检出率
Candela®6300系列光学表面分析仪系统
Candela 6300系列光学表面分析仪系统为金属或玻璃数据存储基板和成品介质提供了先进的量测和检测功能。随着数据存储制造商努力通过进一步降低磁头飞行高度来提高设备存储容量，控制磁盘表面的粗糙度变得越来越重要。6300系列光学表面分析仪利用业界最宽的空间带宽覆盖范围(0.22-2000µm)和亚埃级本底噪声来满足对粗糙度和微观波纹度进行全面测量的要求。
产品说明
Candela 6300系列光学表面分析仪利用获得专利的多通道光学设计，结合独特的激光稳定性管理技术，以及强大的光学表面测量功能，对边缘roll-off、纹理/抛光均匀性、高密度互连的表征以及划痕和微粒进行检测。检测和量测系统的尖端光学扫描技术可在径向和切线方向上对整个磁盘的形貌进行量测，并允许制造商使用单一的工具来测量整个空间光谱。增加了激光功率、降低了本底噪声以及新的光学设计消除了对用于缺陷检测的溅射玻璃基板的需求，从而可以识别<0.1Å的粗糙度变化。
功能
提供业界最宽的空间带宽和最低的本底噪声
测量切向、径向粗糙度和波纹度
可重复量测金属和玻璃介质并与AFM测量结果相关联
对不同尺寸的磁盘进行快速的全晶圆检测
对轻微划痕、沾污和微粒检测具有高灵敏度
创新型光学表面分析(OSA)技术
可提供手动(6310) 或全自动(6340)
应用案例
粗糙度和波纹度分析
缺陷检测
划痕和隆起检查
微粒和沾污检测
微观波纹度测量
选项
精密的金刚石划线
离线软件
大尺寸软件许可证
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企业名称
科磊半导体设备技术（上海）有限公司
企业信息已认证
企业类型
外资
信用代码
913100007630299604
成立日期
2004-02-01
注册资本
400万美元
经营范围
半导体及微电子产品生产设备的研发，提供相关工程程序控制和生产管理解决方案，软件开发，提供相关技术转让和技术咨询服务，机械设备及零部件的进出口。【依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动】
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