Zeta™ -20HR光学轮廓仪(专用于太阳能电池)

产品手册—Zeta-20HR高分辨率光学轮廓仪

KLA Instruments™ 推出 Zeta™-20HR 高分辨率光学轮廓仪，专为满足新型太阳能电池的结构表征和下一代生产工艺的量测需求而设计。 Zeta-20HR提高了光学轮廓仪的分辨率，将对太阳能电池结构的表征能力拓展至 1um 以下。这款新型的 Zeta设备，基于具有 ZDot™ 技术的 Zeta-20 设计，最高可配备 230mm x230mm 尺寸的样品载台，并具备所有标准化且易用的多模测量能力。Zeta光学轮廓仪是太阳能电池工艺开发和控制的理想量测工具。 横向分辨率相较于 Zeta-20 标准版提升 30% 样品台拓展至 230mmx230mm支持先进的太阳能电池生产工艺 用于下一代太阳能电池生产工艺的结构形貌表征 改进的数据可视化方式 应用 太阳能电池金字塔结构的形貌测量 特征结构的形貌和粗糙度测量 太阳能细栅、主栅测量 品圆翘曲和应力测量 金刚石切割线测量 激光开槽测量 30nm至100um的透明薄膜厚度测量， 并生成厚度分布图 横向尺寸灵敏度>1um的自动化缺陷检测

应用说明—太阳能电池量测解决方案KLA Instruments Zetam 光学轮廓仪

太阳能被广泛用于为照明、供暖、泵送、卫星和计算器等小型设备提供电源。太阳能电池大多由单品硅或多品硅制成，是利用光电效应将太阳光直接转化为电能的基本装置。 将品硅锭加工成太阳能电池需要一系列制造工艺，包括晶圆切割、表面制绒、酸洗、扩散、刻蚀、减反膜沉积、激光开槽、接触印刷等。图1为工艺流程中的测量节点，包括金刚石切割线的表面形貌、硅片翘曲/表面粗糙度/边缘倒角、电池片表面金字塔绒面高度和宽度的表征、减反膜厚度和反射率，以及激光开槽、太阳能金属栅线和主栅线的形貌。各项制造工艺中的微小误差都会对电池片的整体能量转换效率造成不利影响，因此对每个工艺环节的质量管控都至关重要。

产品手册Zeta -20HR高分辨率光学轮廓仪（专用于太阳能电池）

Zeta™ -20HR高分辨率光学轮廓仪（专用于太阳能电池） KLA Instruments™ 推出 Zeta™-20HR 高分辨率 光学轮廓仪，专为满足新型太阳能电池的结构表 征和下一代生产工艺的量测需求而设计. Zeta-20HR提高了光学轮廓仪的分辨率，将对太阳能电 池结构的表征能力拓展至 1μm 以下。这款新型的 Zeta 设备，基于具有 ZDot™ 技术的 Zeta-20 设计，最高可 配备 230mm x 230mm 尺寸的样品载台，并具备所有 标准化且易用的多模测量能力。Zeta 光学轮廓仪是太 阳能电池工艺开发和控制的理想量测工具。 概览 1、横向分辨率相较于 Zeta-20 标准版提升 30% 样品台拓展至 230mm x 230mm， 支持先进的太阳能电池生产工艺 2、用于下一代太阳能电池生产工艺的结构形貌表征 3、改进的数据可视化方式