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可选择数十种内建之同心圆,矩形,或线性图案模式,或自行建立无数量限制之测量点.仅需具备基本电脑技能的任何人可在数分钟内自行建立配方
F54 自动化薄膜测绘只需联结设备到您运行Windows™系统计算机的USB端口, 可在几分钟轻松设置
不同的型号主要是由厚度和波长范围作为区别。通常较薄的膜需要较短波长作测量(如F54-UV) 用来测量较薄的膜,而较长的波长可以用来测量更厚,更粗糙,或更不透明的薄膜
集成光谱仪/光源装置
MA-Cmount 安装转接器 显微镜转接器
光纤连接线
BK7 参考材料
TS-Focus-SiO2-4-10000 厚度标准 聚焦/厚度标准
4", 6" and 200mm 参考晶圆
真空泵
备用灯
型号
每台系统內建超过130种材料库, 随着不同应用更超过数百种
应用工程师可立刻提供帮助(周一 - 周五)
网上的 “手把手” 支持 (需要连接互联网)
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企业名称
科磊半导体设备技术(上海)有限公司
企业信息已认证
企业类型
外资
信用代码
913100007630299604
成立日期
2004-02-01
注册资本
400万美元
经营范围
半导体及微电子产品生产设备的研发,提供相关工程程序控制和生产管理解决方案,软件开发,提供相关技术转让和技术咨询服务,机械设备及零部件的进出口。【依法须经批准的项目,经相关部门批准后方可开展经营活动】
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