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核心参数
产地类别： 进口
Filmetrics F60-t系列薄膜厚度测量仪
生产环境的自动测绘
Filmetrics F60-t 系列就像我们的 F50产品一样测绘薄膜厚度和折射率，但它增加了许多用于生产环境的功能。 这些功能包括凹槽自动检测、自动基准确定、全封闭测量平台、预装软件的工业计算机，以及升级到全自動化晶圆传输的机型。
不同的 F60-t 仪器根据波长范围加以区分。 较短的波长 (例如， F60-t-UV) 一般用于测量较薄的薄膜，而较长的波长则可以用来测量更厚、更不平整以及更不透明的薄膜。 .
包含的内容：
集成平台/光谱仪/光源装置（不含平台）
4", 6" and 200mm 参考晶圆
TS-SiO2-4-7200 厚度标准
真空泵
备用灯
额外的好处：
每台系统內建超过130种材料库, 随着不同应用更超过数百种
应用工程师可立刻提供帮助（周一 - 周五）
网上的 “手把手” 支持 (需要连接互联网)
硬件升级计划
型号规格
| 型号 | 厚度范围* | 波长范围 |
|---|---|---|
| F60-t | 20nm-70µm | 380-1050nm |
| F60-t-UV | 5nm-40µm | 190-1100nm |
| F60-t-NIR | 100nm-250µm | 950-1700nm |
| F60-t-EXR | 20nm-250µm | 380-1700nm |
| F60-t-UVX | 5nm-250µm | 190-1700nm |
| F60-t-XT | 0.2µm-450µm | 1440-1690nm |
| F60-t-s980 | 4µm-1mm | 960-1000nm |
| F60-t-s1310 | 7µm-2mm | 1280-1340nm |
| F60-t-s1550 | 10µm-3mm | 1520-1580nm |
常见的选购配件
KLA白光干涉测厚F60-t系列的工作原理介绍
白光干涉测厚F60-t系列的使用方法?
KLAF60-t系列多少钱一台?
白光干涉测厚F60-t系列可以检测什么？
白光干涉测厚F60-t系列使用的注意事项？
KLAF60-t系列的说明书有吗？
KLA白光干涉测厚F60-t系列的操作规程有吗？
KLA白光干涉测厚F60-t系列报价含票含运吗？
KLAF60-t系列有现货吗？
企业名称
科磊半导体设备技术（上海）有限公司
企业信息已认证
企业类型
外资
信用代码
913100007630299604
成立日期
2004-02-01
注册资本
400万美元
经营范围
半导体及微电子产品生产设备的研发，提供相关工程程序控制和生产管理解决方案，软件开发，提供相关技术转让和技术咨询服务，机械设备及零部件的进出口。【依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动】
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