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量产用刻蚀设备NE-5700/NE-7800
产品特性 / Product characteristics
• 除单腔之外，另可搭载有磁场ICP（ISM）或NLD等离子源、去胶腔体、CCP腔体等对应多种刻蚀工艺。
•为实现制程再现性及安定性搭载了星型电及各种调温技能。
•拥有简便的维护构造，缩短了downtime，提供清洗、维护及人员训练服务等综合性的售后服务体制。
•门的半导体技术研究所会提供完备的工艺支持体制。
产品应用 / Product application
产品参数 / Product parameters
产品货期: 60天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
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