看了退火炉的用户又看了
PFS系列是SiC工艺等高温处理工艺中，配合使用的退火设备。可大对应φ 150mm。
产品特性 / Product characteristics
•大可对应φ150mm基板
•大可加热2000℃
•高真空对应
•单批次25片一次性处理（也有5片处理机）
产品应用 / Product application
•SiC功率器件用
•研究开发
•量产用
产品应用 / Product application
关于公司
1、公司介绍
深圳市矢量科学仪器有限公司成立于 2020年，由武汉大学团队孵化，致力泛半导体实验线、中试线、生产线装备及工艺和厂务技术服务于一体的国家高新技术企业、创新型中小企业、科技型中小企业。
公司主要业务如下:
装备销售:半导体道制程工艺装备、后道封装装备、半导体分析测试装备、半导体光电测试仪表。
设备服务:驻场或者 oncall，装备维护、保养、售后技术支持。
厂务服务:驻场或者 oncall，人力服务及厂务二次配工程。
经历五年高速发展，2023 年营业额达 3.2 亿，连年复合增长率达 300%，现处于稳定扩张期。
2、成长历程
•2020年（公司成立年）
•2300万订单额
2021年 7000万订单额
2022年 2.5亿订单额
2023年3.2亿订单额
产品货期: 60天
整机质保期: 1年
培训服务: 安装调试现场免费培训
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