晶圆桌面型半导体快速退火炉(RTP)RTP-Table-6
晶圆桌面型半导体快速退火炉(RTP)RTP-Table-6

¥30万 - 50万

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晟鼎

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RTP-Table-6

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中国大陆

  • 白金
  • 第9年
  • 生产商
  • 营业执照已审核
400-892-5667
核心参数

仪器种类: 普通真空快速退火炉

产地类别: 国产

样品尺寸: 6英寸

温度范围: 室温~1250℃

最高升温速率: ≤100℃/s

退火温度均匀性: ±5℃≤500℃

晶圆桌面型半导体快速退火炉(RTP)RTP-Table-6,使用上下两层红外卤素灯管作为热源加热内部石英腔体保温隔热,腔体外壳为水冷铝合金,使得制品加热均匀,且表面温度低。RTP-Table-6采用PID控制,系统能快速调节红外卤素灯管的输出功率,控温更加精准。



典型用户
用户单位 采购时间
清华大学 2023-12-22
售后服务承诺

保修期: 1年

是否可延长保修期:

现场技术咨询:

免费培训: 可享受3次免费电话培训

免费仪器保养: 1年一次

保内维修承诺: 免费更换小型配件,免费测试样品

报修承诺: 全国24小时内电话响应

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