面议
晟鼎
暂无样本
RTP-DTS-8
--
中国大陆
仪器种类： 高真空快速退火炉
产地类别： 国产
样品尺寸： 6-8寸
温度范围： 室温~1250℃
最高升温速率： ≤30℃/s（载盘）
退火温度均匀性： ±3摄氏度≤600℃
创新点
半导体退火炉是本公司新研发出的针对半导体器件中的一台设备，是公司进入新领域所开发的一款新型设备。退火炉是在半导体器件制造中使用的一种工艺，其包括加热多个半导体晶片以影响其电性能。热处理是针对不同的效果而设计的。
为您推荐相似的退火炉
全自动双腔快速退火炉RTP-DTS-8，晶圆快速退火炉
产品特点：兼容6-8英寸WAFER；全自动双腔设计，产能提升；
最高温度可达1250℃；超高温场均匀性；
稳定的温度重现性；满足SIC量产化制程需求。
行业应用：
其他快速热处理工艺；砷化镓工艺；
氧化物、氮化物生长；欧姆接触快速合金；
硅化物合金退火；氧化回流
技术参数 | |
| 最大产品尺寸 | 6-8寸 |
| Cassette or smlf | 2个 |
| 温度范围 | 室温~1250℃ |
| 最高升温速度 | ≤30℃/s（载盘） |
| 温度均匀度 | ±3℃≤600℃ ±0.5%＞600℃ |
| 温度控制重复性 | ±1℃ |
| 腔体数量 | 双腔 |
| 用户单位 | 采购时间 |
|---|---|
| 清华大学 | 2024-09-19 |
保修期: 1年
是否可延长保修期: 是
现场技术咨询: 有
免费培训: 可享受3次免费电话培训
免费仪器保养: 1年一次
保内维修承诺: 免费更换小型配件，免费测试样品
报修承诺: 全国24小时内电话响应
晟鼎退火炉RTP-DTS-8的工作原理介绍
退火炉RTP-DTS-8的使用方法?
晟鼎RTP-DTS-8多少钱一台?
退火炉RTP-DTS-8可以检测什么？
退火炉RTP-DTS-8使用的注意事项？
晟鼎RTP-DTS-8的说明书有吗？
晟鼎退火炉RTP-DTS-8的操作规程有吗？
晟鼎退火炉RTP-DTS-8报价含票含运吗？
晟鼎RTP-DTS-8有现货吗？
