核心参数
产地类别: 进口
测量原理: 电感式
测量范围: 纳米级- 327 微米
精度: 详见参数
探针尖半径: 详见参数
探针作用力: 详见参数
扫描长度: 详见参数
台阶高度重复性: 详见参数
垂直方向分辨率: 详见参数
测量样品最大尺寸: 详见参数
KLA台阶仪HRP®-260 的工作原理介绍
台阶仪HRP®-260 的使用方法?
KLAHRP®-260 多少钱一台?
台阶仪HRP®-260 可以检测什么?
台阶仪HRP®-260 使用的注意事项?
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产品手册—HRP -260全自动高分辨率探针式轮廓仪
HRP-260系统是高分辨率的全自动化探针式轮廓仪,满 足半导体晶圆制造工厂产品质量检测和自动化产线生产 的需求。HRP-260提供双扫描模组,XY扫描平台无需 拼接即可完成完整的晶圆扫描,高分辨率的压电扫描模 组能够以更高的分辨率对微小形貌进行测量。 HRP-260可支持2D和3D测量,并采用多种滤波,调平 和数据处理等算法来分析样品的表面形貌。 HRP-260程式设置简单快捷,并配备交互式平台控制、 低倍和高倍光学系统,以及高分辨率的数码相机。通过 自动晶圆传送,结合图案识别、多点测量、特征检测和 特征查找等软件功能,可以实现全自动化测量。先进的 几何图形识别算法,完备的X-Y平移校准和Z方向高度校 准支持程式在不同HRP机台之间的复制和使用,从而满 足7x24小时全天候生产的需求
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2024/05/07
产品手册HRP -260探针式轮廓仪
HRP®-260探针式轮廓仪 HRP®-260 是一个高分辨率、自动化探针式轮廓仪,提供从几纳米到 300 微米的台阶高度测量功能。P-260支持台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力的2D和3D测量,扫描范围可达 200 毫米且无需拼接。HRP®-260 配置了与 P-260 相同的功能,但增加了高分辨率样品台以获得类似 AFM 的扫描结果。HRP 系列高分辨率轮廓仪具有先进的图形识别算法,可增强系统之间程式的可传输性,从而实现7x24小时全天候生产。 产品描述 HRP®-260 是一款高分辨率、自动化探针式轮廓仪。HRP 提供用于产线的自动化晶圆产品测量能力,服务于半导体、化合物半导体、高亮度 LED、数据存储等相关行业。P-260支持台阶高度、粗糙度、翘曲度和应力的2D和3D测量,扫描范围可达 200 毫米且无需拼接。HRP®-260 提供与 P-260 相同的配置外加一个高分辨率样品台,可以以更高的分辨率去表征小型特征图案。 HRP®-260 提供用于测量纳米和微米表面形貌的双样品台。P-260 配置提供长程扫描(长达 200 毫米)功能,无需拼接,且HRP®-260 提供高分辨率
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2024/02/21