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核心参数
仪器种类： 纳米压痕仪
产地类别： 进口
最大压痕深度： 详见参数
有效加载载荷范围： 详见参数
有效载荷分辨率： 详见参数
可实现位移范围： 详见参数
位移分辨率： 详见参数
最大摩擦力： 详见参数
压头类型： 详见参数
热漂移： 详见参数
InSEM® HT纳米压痕仪
InSEM® HT（高温）通过在真空环境下独立加热压头和样品测量高温下的硬度、模量和刚度。InSEM HT与扫描电子显微镜 (SEM) 及聚焦离子束 (FIB) 室或独立真空室兼容。InView软件可帮助高级研究人员开发新实验。科学出版物显示，InSEM HT的结果与传统大尺度高温试验数据匹配良好。拥有较大的温度范围能力和较低的拥有成本，这种组合使 InSEM HT成为材料开发研究中的宝贵工具
产品说明
InSEM HT高温测试系统可在真空环境下独立加热压头和样品，并与多种 SEM/FIB室或独立真空室兼容。在温度高达800℃ 时，可在原位模拟极端温度条件并获得一致、可靠的测试数据。钼制底座上的单晶碳化钨压头针对高温测试应用进行了优化，有多种几何形状可供选择。
功能
具有压头加热的InForce 50作动器适用于电容位移测量和电磁力驱动，并附有可互换压头
样品加热高达800 ℃、10毫米样品尺寸和真空兼容的样品安装系统
InQuest高速数字控制器，数据采集速率最高可达100kHz，时间响应常数最快为20µs
用于样品定位的XYZ运动系统
SEM视频捕获，用于同步SEM图像和测试数据
独特的软件集成压头校准系统，可实现快速、准确的压头校准
与Windows® 10兼容的 InView 控制和数据审查软件以及测试方法开发选项用于用户自定义实验
应用场景
高温测试
硬度和模量测量 (Oliver-Pharr)
连续刚度测量
高速材料特性分布图
蠕变测量
应变速率敏感因子
适用行业
大学、实验室和研究所
航空航天
车辆制造
硬质涂层
核能
军事/防御
主要应用
硬度和模量测量（基于Oliver-Pharr模型）
机械性能对新材料的研发至关重要。InSEM HT纳米压痕仪可测量各种材料的硬度，尤其是监控在热应力下的机械性能的变化。
连续刚度测量
连续刚度测量用于量化测定动态材料特性，例如应变速率效应和频率相关特性。InSEM HT纳米压痕仪提供从0.1Hz到1kHz的动态激发，可进行基于时间的监测，准确确定初始表面接触并连续测量接触刚度随深度或频率的变化。
快速材料力学性能成像
对于复合材料而言，不同区域之间的力学性能可能存在很大差异。InSEM HT在X 轴和Y轴上的样品台可移动范围为20毫米，Z轴的范围为25毫米，还能在样品区域内测试各种样品高度。使用NanoBlitz功能选项进行材料表面和断层力学性能成像，可以快速获得各种被测力学性能的彩色分布图。
高温测试
很多行业领域的材料研究不仅侧重于机械应力下的性能，还有热应力下的性能。InSEM HT是专为下一代材料测试而设计的仪器，可用于如航空航天、车辆和军事/防御等先进技术应用场景。
蠕变测量
材料由于外加负载以及温度升高而发生变形。蠕变测量是机械和热应力联合作用下应变随时间的变化，蠕变行为对于车辆和航空航天系统的有效设计至关重要。InSEM HT支持的测试温度高达800℃，并可同时监测材料的应变。
应变速率敏感因子
使用应变速率敏感因子，可以定量描述不同加载条件下产生的应变。例如，短时间内在材料上施加机械/热应力，产生的应变可能与更缓慢地施加应力时不同。InSEM HT支持用户自定义实验，在高达800°C时测量不同加载条件下的应变响应。
KLA纳米压痕仪InSEM® HT的工作原理介绍
纳米压痕仪InSEM® HT的使用方法?
KLAInSEM® HT多少钱一台?
纳米压痕仪InSEM® HT可以检测什么？
纳米压痕仪InSEM® HT使用的注意事项？
KLAInSEM® HT的说明书有吗？
KLA纳米压痕仪InSEM® HT的操作规程有吗？
KLA纳米压痕仪InSEM® HT报价含票含运吗？
KLAInSEM® HT有现货吗？
企业名称
科磊半导体设备技术（上海）有限公司
企业信息已认证
企业类型
外资
信用代码
913100007630299604
成立日期
2004-02-01
注册资本
400万美元
经营范围
半导体及微电子产品生产设备的研发，提供相关工程程序控制和生产管理解决方案，软件开发，提供相关技术转让和技术咨询服务，机械设备及零部件的进出口。【依法须经批准的项目，经相关部门批准后方可开展经营活动】
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