2020-01-15 14:52
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Bruker原子力显微镜-- Dimension Edge
型号: Dimension Edge
产地:
品牌: 布鲁克
¥ 100万 - 150万
参考报价
Bruker原子力显微镜-- Dimension Icon
型号: Dimension Icon
产地:
品牌: 布鲁克
¥ 150万 - 200万
参考报价
Bruker三维光学表面轮廓仪-ContourGT-K
型号: ContourGT-K
产地:
品牌: 布鲁克
¥ 90万
参考报价
Bruker微纳压痕划痕测试仪CETR-Apex
型号: CETR-Apex
产地:
品牌: 布鲁克
¥ 100万 - 150万
参考报价
Bruker 探针式表面轮廓仪(台阶仪)-DektakXT
型号: DektakXT
产地:
品牌: 布鲁克
¥ 20万 - 30万
参考报价
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原子层沉积(ALD)是一种先进的薄膜涂覆方法,可用于制造超薄,高度均匀和共形的材料层,以用于多种应用。
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EVG810LT是一款单腔室、半自动的设备,适用于硅片直接键合的低温活化,如SOI,应变硅,GeOI,化合物半导体和MEMS器件等应用。EVG810LT工艺腔室允许使用非原位工艺,即硅片可在腔室内分别片片激活,之后在激活腔室外硅片进行键合。
EVG510 是一款半自动晶圆键合系统,可以处理最大200mm 的晶圆,非常适合于研发和小批量生产。EVG510 提供了除上料和下料外的全自动工艺处理过程,配备了业界公认的最优异的加热和压力均匀性系统。EVG510 模块化的键合腔室设计可用于150mm 或200mm晶圆键合,并且其工艺菜单与EVG 其他更高系列的键合机相匹配,可以方便的实现从实验线到量产线的工艺复制。