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SEMSYSCO晶圆电镀平台：
TRITON SINGLE WAFER PLATFORM
TRITON单晶片平台
从其创立到2013年首次交付，Triton平台被设计为适用于所有单晶圆湿法工艺的稳定但模块化的主力。
我们工具的模块化构建使我们的客户能够为大规模生产的单过程工具以及瑞士军刀研发或原型工具配置工具，而不会影响性能或可靠性。
构架
在模块化框架内，我们不断创新平台。
我们的客户可以选择为其工具配备高速电镀系统，以代替传统的喷泉式电镀机，或者选择一个上部腔室，该上部腔室允许在电镀腔室上方进行预润湿以及最终漂洗/干燥，而无需机械手移动。
灵活性
我们为客户提供最大的灵活性。可以随时准备工具来支撑其他腔室和/或容器，因此它会随着您的工艺需求而增长。我们的模块化思维使将新开发的腔室添加到具有扩展空间的现有工具中成为可能，从而确保了客户的投资前景。
TRITON CUSTOMER ADDED VALUES
出色的速度和质量记录
面向客户和未来
高度创新，可满足客户需求
每个腔室处理一种以上基板尺寸的可能性极小或无需重新配置
模块化平台
升级的新湿法
建立高通量处理室
TRITON HIGHLIGHTS
TRITON的亮点
处理3英寸至450 mm的基板
可以处理两到三种不同尺寸的基板，而无需进行最少的配置或无需重新配置-无需对腔室进行重新鉴定
获得专利的高速电镀技术可提供更高的通量和更好的均匀性-无需改变化学成分
准备好工业4.0 –控制和监视所有过程参数
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企业名称
北京亚科晨旭科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
信用代码
110105009081828
成立日期
2005-11-28
注册资本
500
经营范围
技术推广；市场调查；经济贸易咨询；展览服务；组织文化艺术交流活动（不含演出）；货物进出口、技术进出口、代理进出口；销售机械设备、五金交电及电子产品、矿产品、建材及化工产品（不含危险化学品）。（企业依法自主选择经营项目，开展经营活动；依法须经批准的项目，经相关部门批准后依批准的内容开展经营活动；不得从事本市产业政策禁止和限制类项目的经营活动。）
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