核心参数
产地类别: 进口
应用领域: 半导体
沉积速率: 详见资料
控制气体: 详见资料
沉积薄膜种类: 详见资料
背底真空: 详见资料
工作气压: 详见资料
内部尺寸: 详见资料
MPCVD 法是在微波能量的作用下,将沉积气体激发成等离子体状态,在由微波产生的电磁场的 作用下,腔体内的电子相互碰撞并产生剧烈的振荡,促进了谐振腔内其它的原子、基团及分子之间的 相互碰撞,从而有效地提高反应气体的离化程度,达到辉光发电,产生更高密度的等离子体。德国 iplas 公司的独家专利多天线耦合微波等离子技术(CYRANNUS®),可在反应腔中实现极高的 SP3 键转 化率,使得腔体中充满过饱和原子氢和含碳基团,从而有效地提高了沉积速率并且使得金刚石的沉积 质量得到改善,这正是获取优质金刚石的技术基础。德国 iplas 推出的微波等离子化学气相沉积系统(MPCVD),其真空室的形式为金属腔-石英管一体式,压力操作范围从 10mbar 到室压范围,可制 备大尺寸、优质金刚石(工艺参数得当可制备出首饰级钻石)和高均匀性的金刚石厚膜。
1.CYRANNUS 技术采用多天线激发技术,开创性解决了高气压下等离子体团不稳定、闪烁的问题。
可以在更高的功率(100kw),更高的气压(室压)下仍然保持稳定的等离子体团,因此为高速 生长优质金刚石膜提供了可能。
2. CYRANNUS 多天线耦合技术配合 Iplas 专利的 E-H 调节器,可对前向和反射微波功率进行调节 和测量。反射功率可以控制在 5%以下。
3. CYRANNUS 多天线耦合技术的高能量密度保证了极高的 SP3 键的转换率,相较于传统等离子技 术 CVD 系统,可以获得更高品质的金刚石。
4. CYRANNUS 多天线耦合技术将激发的等离子体团集中在腔体中,远离石英管,所以对石英管的加热效应有限,风冷+水冷的冷却措施可以防止反应壁过热的问题。
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企业名称
深圳市蓝星宇电子科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司
信用代码
91440300789207446B
成立日期
2006-05-17
注册资本
1080万
经营范围
机械设备研发,工程和技术研究和试验发展,半导体器件专用设备销售,光学仪器销售,实验分析仪器销售,集成电路芯片及产品销售,电子专用材料销售。
深圳市蓝星宇电子科技有限公司
公司地址
深圳市宝安区福海街道展城社区展景路83号会展湾中港广场6栋B座902
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