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当前位置： 蓝星宇 > 物理气相沉积设备 > 微波等离子化学气相沉积 Cyrannus 1-6" 2.45GHz系统

微波等离子化学气相沉积 Cyrannus 1-6" 2.45GHz系统

品牌： iplas
产地： 德国
型号： 德国iplas微波等离子化学气相沉积 Cyrannus 1-6" 2.45GHz系统
报价： 面议
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核心参数

仪器种类： 其他

产地类别： 进口

应用领域： 微电子学

基片尺寸： 详见资料

靶材： 详见资料

基片温度范围： 详见资料

成膜厚度均匀性： 详见资料

极限真空： 详见资料

产品介绍

德国iplas微波等离子化学气相沉积 Cyrannus 1-6" 2.45GHz系统


MPCVD 法是在微波能量的作用下，将沉积气体激发成等离子体状态，在由微波产生的电磁场的作用下，腔体内的电子相互碰撞并产生剧烈的振荡，促进了谐振腔内其它的原子、基团及分子之间的相互碰撞，从而有效地提高反应气体的离化程度，达到辉光发电，产生更高密度的等离子体。德国 iplas公司的独 家 专 利多天线耦合微波等离子技术（CYRANNUS®），可在反应腔中实现极高的 SP3 键转化率，使得腔体中充满过饱和原子氢和含碳基团，从而有效地提高了沉积速率并且使得金刚石的沉积质量得到改善，这正是获取优质金刚石的技术基础。德国 iplas 推出的微波等离子化学气相沉积系统（MPCVD），其真空室的形式为金属腔-石英管一体式，压力操作范围从 10mbar 到室压范围，可制备大尺寸、优质金刚石（工艺参数得当可制备出首饰级钻石）和高均匀性的金刚石厚膜。
1. CYRANNUS 技术采用多天线激发技术，开创性解决了高气压下等离子体团不稳定、闪烁的问题。可以在更高的功率（100kw）,更高的气压（室压）下仍然保持稳定的等离子体团， 因此为高速生长优质金刚石膜提供了可能。
2. CYRANNUS 多天线耦合技术配合 Iplas 专利的 E-H 调节器，可对前向和反射微波功率进行调节和测量。反射功率可以控制在 5%以下。
3. CYRANNUS 多天线耦合技术的高能量密度保证了极高的 SP3 键的转换率，相较于传统等离子技术 CVD 系统，可以获得更高品质的金刚石。
4. CYRANNUS 多天线耦合技术将激发的等离子体 管的加热效应有限，风冷+水冷的冷却措施可以防止反应壁过热的问题。


售后服务
保修期： 1年
是否可延长保修期： 否
现场技术咨询： 无
免费培训： 免费安装及技术培训
免费仪器保养： 6个月一次。
保内维修承诺： 经确认质量问题，免费更换。
报修承诺： 24小时内到达现场并开始维修
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深圳市蓝星宇电子科技有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司

信用代码

91440300789207446B

成立日期

2006-05-17

注册资本

1080万

经营范围

机械设备研发，工程和技术研究和试验发展，半导体器件专用设备销售，光学仪器销售，实验分析仪器销售，集成电路芯片及产品销售，电子专用材料销售。

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深圳市蓝星宇电子科技有限公司为您提供微波等离子化学气相沉积 Cyrannus 1-6" 2.45GHz系统德国iplas微波等离子化学气相沉积 Cyrannus 1-6" 2.45GHz系统，iplas德国iplas微波等离子化学气相沉积 Cyrannus 1-6" 2.45GHz系统产地为德国，属于进口物理气相沉积设备，除了微波等离子化学气相沉积 Cyrannus 1-6" 2.45GHz系统的参数、价格、型号、原理等信息外，还可为您提供德国IPLAS MPCVD CYRANNUS® 微波等离子化学气相沉积、紫外光刻机,蓝星宇客服电话400-860-5168转4527，售前、售后均可联系。
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化学气相沉积设备 原子层沉积设备 无掩模光刻机/直写光刻机 电子束曝光机 有掩模光刻机 纳米压印设备 匀胶机

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