108C 镀碳仪
品牌: TED PELLA 108C是用于扫描电镜能谱分析的最先进的镀碳仪之一。
主要特性
独特的受反馈控制的碳棒蒸发系统可以在膜厚大约 20nm 左右进行多次蒸发,无须切削或调整碳棒形状。
108C 中使用的高纯碳棒可以在高倍条件下得到高质量的镀膜效果。该镀膜系统结构紧凑,容易操作,抽 真空周期短。选件 MTM-10 高分辨膜厚监控仪可以精确地得到所需的碳膜厚度。
使用新型的蒸发装置:电流和电压通过磁控头的传感线监控,蒸发源作为反馈回路中的一部分被控制。该 蒸发装置使常规的碳棒具有优良的稳定性和重现性。功率消耗低,碳棒具有优异的重新蒸镀特性。蒸发源 可以通过脉冲或连续的方式操作。
可选择手动或自动方式操作。
自动模式下,蒸发源按程序设定的电压和时间进行喷镀。手动模式下,独特的设计允许以脉冲或连续的方 式操作,并通过旋钮控制输出电压。
可配备 MTM-10 高分辨膜厚监控仪(选件)。分辨率优于 0.1nm。在 15nm 至 25nm 的碳膜厚度范围 内,重现性可优于 5%。
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企业名称
深圳市蓝星宇电子科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司
信用代码
91440300789207446B
成立日期
2006-05-17
注册资本
1080万
经营范围
机械设备研发,工程和技术研究和试验发展,半导体器件专用设备销售,光学仪器销售,实验分析仪器销售,集成电路芯片及产品销售,电子专用材料销售。
深圳市蓝星宇电子科技有限公司
公司地址
深圳市宝安区福海街道展城社区展景路83号会展湾中港广场6栋B座902
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