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日本Elionix 微细加式电子束曝光电子束直写机ELS-F125/F100/HS50
ELS-F125是Elionix推出的世界上首台加速电压达125KV的电子束曝光系统，其可加工线宽下限为5nm的精细图形。(以下参数基于ELS-F125)
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ELS-F125具有以下优点：
l 。超高书写精度
- 5 nm 线宽精度 @125 kV
- 1.7 nm 电子束直径&邻近效应小化 @125 kV
2. 大通量、均匀性好
- 宽视野书写:500um视场下10 nm线宽
- 高束流下电子束直径依然很小，大通量而不影响分辨率，2 nm电子束直径@1 nA
3. 界面用户友好
基于Windows系统的CAD和SEM界面:
-简单易用的图案设计功能
-易于控制的电子束条件
二、主要功能
2.1 主要应用
纳米器件的微结构
集成光学器件，如光栅，光子晶体等
NEMS结构，复杂精细结构
光刻掩模板，压印模板
2.2 技术能力
三、应用
其它行业专用ELS-F125的工作原理介绍
其它行业专用ELS-F125的使用方法?
ELS-F125多少钱一台?
其它行业专用ELS-F125可以检测什么？
其它行业专用ELS-F125使用的注意事项？
ELS-F125的说明书有吗？
其它行业专用ELS-F125的操作规程有吗？
其它行业专用ELS-F125报价含票含运吗？
ELS-F125有现货吗？
企业名称
深圳市蓝星宇电子科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司
信用代码
91440300789207446B
成立日期
2006-05-17
注册资本
1080万
经营范围
机械设备研发，工程和技术研究和试验发展，半导体器件专用设备销售，光学仪器销售，实验分析仪器销售，集成电路芯片及产品销售，电子专用材料销售。
深圳市蓝星宇电子科技有限公司
公司地址
深圳市宝安区福海街道展城社区展景路83号会展湾中港广场6栋B座902
客服电话
公司名称： 深圳市蓝星宇电子科技有限公司
公司地址： 深圳市宝安区福海街道展城社区展景路83号会展湾中港广场6栋B座902 联系人： 廖敬强 13538131258，徐翠兰15915408056 邮编： 518104 联系电话： 400-860-5168转4527
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