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德国iplas微波等离子化学气相沉积 iplas Mpcvd 915MHz

品牌: iplas
产地: 德国
型号: iplas Mpcvd 915MHz系统微波等离子化学气相沉积
报价: 面议
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核心参数

仪器种类: 其他

产地类别: 进口

应用领域: 微电子学

基片尺寸: 详见资料

靶材: 详见资料

基片温度范围: 详见资料

成膜厚度均匀性: 详见资料

极限真空: 详见资料

产品介绍

德国iplas微波等离子化学气相沉积  iplas Mpcvd 915MHz 系统




MPCVD 法是在微波能量的作用下,将沉积气体激发成等离子体状态,在由微波产生的电磁场的作用下,腔体内的电子相互碰撞并产生剧烈的振荡,促进了谐振腔内其它的原子、基团及分子之间的相互碰撞,从而有效地提高反应气体的离化程度,达到辉光发电,产生更高密度的等离子体。德国 iplas公司的独家专利多天线耦合微波等离子技术(CYRANNUS®),可在反应腔中实现极高的 SP3 键转化率,使得腔体中充满过饱和原子氢和含碳基团,从而有效地提高了沉积速率并且使得金刚石的沉积质量得到改善,这正是获取优质金刚石的技术基础。德国 iplas 推出的微波等离子化学气相沉积系统(MPCVD),其真空室的形式为金属腔-石英管一体式,压力操作范围从 10mbar 到室压范围,可制备大尺寸、优质金刚石(工艺参数得当可制备出首饰级钻石)和高均匀性的金刚石厚膜。

1. CYRANNUS 技术采用多天线激发技术,开创性解决了高气压下等离子体团不稳定、闪烁的问题。可以在更高的功率(100kw)更高的气压(室压)下仍然保持稳定的等离子体团, 因此为高速生长优质金刚石膜提供了可能。
2. CYRANNUS 多天线耦合技术配合 Iplas 专利的 E-H 调节器,可对前向和反射微波功率进行调节和测量。反射功率可以控制在 5%以下。
3. CYRANNUS 多天线耦合技术的高能量密度保证了极高的 SP3 键的转换率,相较于传统等离子技术 CVD 系统,可以获得更高品质的金刚石。
4. CYRANNUS 多天线耦合技术将激发的等离子体 管的加热效应有限,风冷+水冷的冷却措施可以防止反应壁过热的问题。


售后服务
保修期: 1年
是否可延长保修期:
现场技术咨询:
免费培训: 免费安装及技术培训
免费仪器保养: 6个月一次。
保内维修承诺: 经确认质量问题,免费更换。
报修承诺: 24小时内到达现场并开始维修
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工商信息

企业名称

深圳市蓝星宇电子科技有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司

信用代码

91440300789207446B

成立日期

2006-05-17

注册资本

1080万

经营范围

机械设备研发,工程和技术研究和试验发展,半导体器件专用设备销售,光学仪器销售,实验分析仪器销售,集成电路芯片及产品销售,电子专用材料销售。

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