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当前位置: 蓝星宇 > 原子层沉积设备 > 德国Sentech等离子体增强原子层沉积机PE-ALD

德国Sentech等离子体增强原子层沉积机PE-ALD

品牌:
产地: 德国
型号: PE-ALD
报价: ¥100万 - 200万
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核心参数

产地类别: 进口

衬底尺寸: -详见资料

工艺温度: -详见资料

前驱体数: -详见资料

重量: -详见资料

尺寸(W x H x D): -详见资料

均匀性: -详见资料

产品介绍
产品详情

德国Sentech等离子体增强原子层沉积机PE-ALD 

 

76. Sentech PE-ALD.png


原子层沉积(ALD)是在3D结构上逐层沉积超薄薄膜的工艺方法。薄膜厚度和特性的精确控制通过在工艺循环过程中在真空腔室分步加入前置物实现。等离子增强原子层沉积(PEALD)是用等离子化的气态原子替代水作为氧化物来增强ALD性能的先进方法。

 

 

SENTECH基于多年研发制造PECVD和ICPECVD的经验,包括专有的PTSA技术,推出第一台PEALD设备。新的ALD设备应用SENTECH椭偏仪,使热辅助和等离子辅助的操作和沉积过程都能得到监控。
 

 

SENTECH使用激光椭偏仪和宽量程分光椭偏仪的前沿技术——超快在线椭偏仪来监控逐层膜生长。

 

第一台PEALD设备已经在布伦瑞克科技大学(TU Braunschweig)投入使用,用于生长超高均匀性和密度的氧化膜,如Al2O3和ZnO等。
 

 

在Al2O3沉积过程中,三甲基铝(TMA)等离子产生的氧原子反应,衬底温度为80到200℃。PEALD薄膜厚度均匀性高、折射率变化小的特点。


 


售后服务
保修期: 1年
是否可延长保修期:
现场技术咨询:
免费培训: 免费安装及技术培训
免费仪器保养: 6个月一次。
保内维修承诺: 经确认质量问题,免费更换。
报修承诺: 24小时内到达现场并开始维修
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原子层沉积PE-ALD的工作原理介绍

原子层沉积PE-ALD的使用方法?

PE-ALD多少钱一台?

原子层沉积PE-ALD可以检测什么?

原子层沉积PE-ALD使用的注意事项?

PE-ALD的说明书有吗?

原子层沉积PE-ALD的操作规程有吗?

原子层沉积PE-ALD报价含票含运吗?

PE-ALD有现货吗?

工商信息

企业名称

深圳市蓝星宇电子科技有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司

信用代码

91440300789207446B

成立日期

2006-05-17

注册资本

1080万

经营范围

机械设备研发,工程和技术研究和试验发展,半导体器件专用设备销售,光学仪器销售,实验分析仪器销售,集成电路芯片及产品销售,电子专用材料销售。

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深圳市蓝星宇电子科技有限公司为您提供德国Sentech等离子体增强原子层沉积机PE-ALD ,nullPE-ALD产地为德国,属于进口原子层沉积设备,除了德国Sentech等离子体增强原子层沉积机PE-ALD 的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多原子层沉积设备,蓝星宇客服电话400-860-5168转4527,售前、售后均可联系。
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