核心参数
产地类别: 进口
衬底尺寸: -156 mm x 156 mm
工艺温度: -50 - 500 °C
前驱体数: 。液态、固态、气态、臭氧源 。前驱源余量传感器,并提供清洗和装源服务 。8根独立源管线,最多加载12个前驱体源
重量: -2000KG
尺寸(W x H x D): -(W x H x D) 230 cm x 270 cm x 125 cm
均匀性: -100%
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企业名称
深圳市蓝星宇电子科技有限公司
企业信息已认证
企业类型
有限责任公司
信用代码
91440300789207446B
成立日期
2006-05-17
注册资本
1080万
经营范围
机械设备研发,工程和技术研究和试验发展,半导体器件专用设备销售,光学仪器销售,实验分析仪器销售,集成电路芯片及产品销售,电子专用材料销售。
深圳市蓝星宇电子科技有限公司
公司地址
深圳市宝安区福海街道展城社区展景路83号会展湾中港广场6栋B座902
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