您好,欢迎访问仪器信息网
注册
深圳市蓝星宇电子科技有限公司

关注

已关注

金牌5年 金牌

已认证

粉丝量 0

400-860-5168转4527

仪器信息网认证电话,请放心拨打

当前位置: 蓝星宇 > 原子层沉积设备 > P-1000 Pro ALD芬兰PICOSUN 生产型原子层沉积机

P-1000 Pro ALD芬兰PICOSUN 生产型原子层沉积机

品牌:
产地: 德国
型号: P-1000 Pro ALD
报价: ¥100万 - 200万
获取电话
留言咨询

核心参数

产地类别: 进口

衬底尺寸: -156 mm x 156 mm

工艺温度: -50 - 500 °C

前驱体数: 。液态、固态、气态、臭氧源 。前驱源余量传感器,并提供清洗和装源服务 。8根独立源管线,最多加载12个前驱体源

重量: -2000KG

尺寸(W x H x D): -(W x H x D) 230 cm x 270 cm x 125 cm

均匀性: -100%

产品介绍
产品详情


芬兰PICOSUN生产型原子层沉积机P-1000 Pro ALD

 

技术参数:
 

衬底尺寸和类型

 。156 mm x 156 mm硅片800~1000片/批次(双面/背对背)
 。高达400 mm x 600 mm玻璃基板30~50片/批次(双面/背对背)
 。大批量的3D产品(例如:钟表部件,珠宝,硬币,医疗植入部件,机械部件等)
 。多孔,通孔,高深宽比(HAR)样品

 

工艺温度: 50 - 500 °C
 

基片传送选件:

 。气动升降(手动装载,带叉车forklift cart)
 。全自动转载,用工业机器人实现

 

前驱体: 

 。液态、固态、气态、臭氧源
 。前驱源余量传感器,并提供清洗和装源服务
 。8根独立源管线,最多加载12个前驱体源

 

重量: 2000 kg
 

尺寸:(W x H x D) 230 cm x 270 cm x 125 cm
 

选件: PICOFLOW™ 扩散增强器,N2发生器,尾气处理器,定制设计,与工厂软件连接服务。
 

验收标准: 标准设备验收标准为 Al2O3 工艺 
 


售后服务
保修期: 1年
是否可延长保修期:
现场技术咨询:
免费培训: 免费安装及技术培训
免费仪器保养: 6个月一次。
保内维修承诺: 经确认质量问题,免费更换。
报修承诺: 24小时内到达现场并开始维修
问商家

原子层沉积P-1000 Pro ALD的工作原理介绍

原子层沉积P-1000 Pro ALD的使用方法?

P-1000 Pro ALD多少钱一台?

原子层沉积P-1000 Pro ALD可以检测什么?

原子层沉积P-1000 Pro ALD使用的注意事项?

P-1000 Pro ALD的说明书有吗?

原子层沉积P-1000 Pro ALD的操作规程有吗?

原子层沉积P-1000 Pro ALD报价含票含运吗?

P-1000 Pro ALD有现货吗?

工商信息

企业名称

深圳市蓝星宇电子科技有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司

信用代码

91440300789207446B

成立日期

2006-05-17

注册资本

1080万

经营范围

机械设备研发,工程和技术研究和试验发展,半导体器件专用设备销售,光学仪器销售,实验分析仪器销售,集成电路芯片及产品销售,电子专用材料销售。

联系我们
深圳市蓝星宇电子科技有限公司为您提供P-1000 Pro ALD芬兰PICOSUN 生产型原子层沉积机,nullP-1000 Pro ALD产地为德国,属于进口原子层沉积设备,除了P-1000 Pro ALD芬兰PICOSUN 生产型原子层沉积机的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多原子层沉积设备,蓝星宇客服电话400-860-5168转4527,售前、售后均可联系。
推荐产品
供应产品

深圳市蓝星宇电子科技有限公司

查看电话

沟通底价

提交后,商家将派代表为您专人服务

获取验证码

{{maxedution}}s后重新发送

获取多家报价,选型效率提升30%
提交留言
点击提交代表您同意 《用户服务协议》 《隐私政策》 且同意关注厂商展位
联系方式:

公司名称: 深圳市蓝星宇电子科技有限公司

公司地址: 深圳市宝安区福海街道展城社区展景路83号会展湾中港广场6栋B座902 联系人: 廖敬强 13538131258,徐翠兰15915408056 邮编: 518104 联系电话: 400-860-5168转4527

仪器信息网APP

展位手机站