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当前位置: 蓝星宇 > 原子层沉积设备 > 芬兰PICOSUN高级原子沉积机P-300B Advanced ALD

芬兰PICOSUN高级原子沉积机P-300B Advanced ALD

品牌:
产地: 芬兰
型号: P-300B Advanced ALD
报价: ¥100万 - 200万
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核心参数

产地类别: 进口

衬底尺寸: -

工艺温度: -

前驱体数: -

重量: -

尺寸(W x H x D): -

均匀性: -

产品介绍
产品详情


 芬兰PICOSUN高级原子沉积机P-300B Advanced ALD 

技术参数
  。基片尺寸和类型 300mm晶圆10片/批次(标准间距)
  。200mm晶圆25+2片/批次(标准间距)

 

工艺温度 :50 - 500 °C
 

基片传送选件:。 气动升降(手动加载)
         。半自动装载,用线性装载器实现
         。52片晶圆盒式全自动装载,用真空批量Load lock实现

 

前驱体:  。液态,固态,气态,臭氧源
       。前驱源余量传感器,并提供清洗和装源服务
       。4根独立源管线,最多加载6个前驱体源

 

重量 :400 + 300 kg
 

尺寸: (W x H x D) 149 cm x 191 cm x 111 cm
 

选件 :PICOFLOW™ 扩散增强,N2发生器,尾气处理器,定制设计,与工厂软件连接服务。
 

验收标准 :标准设备验收标准为 Al2O3 工艺


 


售后服务
保修期: 1年
是否可延长保修期:
现场技术咨询:
免费培训: 免费安装及技术培训
免费仪器保养: 6个月一次。
保内维修承诺: 经确认质量问题,免费更换。
报修承诺: 24小时内到达现场并开始维修
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原子层沉积 P-300B Advanced ALD的工作原理介绍

原子层沉积 P-300B Advanced ALD的使用方法?

P-300B Advanced ALD多少钱一台?

原子层沉积 P-300B Advanced ALD可以检测什么?

原子层沉积 P-300B Advanced ALD使用的注意事项?

P-300B Advanced ALD的说明书有吗?

原子层沉积 P-300B Advanced ALD的操作规程有吗?

原子层沉积 P-300B Advanced ALD报价含票含运吗?

P-300B Advanced ALD有现货吗?

工商信息

企业名称

深圳市蓝星宇电子科技有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司

信用代码

91440300789207446B

成立日期

2006-05-17

注册资本

1080万

经营范围

机械设备研发,工程和技术研究和试验发展,半导体器件专用设备销售,光学仪器销售,实验分析仪器销售,集成电路芯片及产品销售,电子专用材料销售。

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深圳市蓝星宇电子科技有限公司为您提供芬兰PICOSUN高级原子沉积机P-300B Advanced ALD ,null P-300B Advanced ALD产地为芬兰,属于进口原子层沉积设备,除了芬兰PICOSUN高级原子沉积机P-300B Advanced ALD 的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多原子层沉积设备,蓝星宇客服电话400-860-5168转4527,售前、售后均可联系。
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