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芬兰PICOSUN原子层沉积机P-300S Pro ALD

品牌:
产地: 芬兰
型号: P-300S Pro ALD
报价: ¥100万 - 200万
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核心参数

产地类别: 进口

衬底尺寸: -

工艺温度: -

前驱体数: -

重量: -

尺寸(W x H x D): -

均匀性: -

产品介绍
产品详情


芬兰PICOSUN原子层沉积机P-300S Pro ALD 
 

技术参数


衬底尺寸和类型 :最大300mm晶圆/单片
 

工艺温度: 50 - 500 °C
 

基片传送选件:

         。 半自动装载,用单片Load lock与磁力操纵杆实现
         。25片晶圆盒对盒式全自动装载(cassette-to-cassette),用PICOPLATFORM™ 300集群系统实现

 

标准 :SEMI S2认证
 

前驱体

     。液态,固态,气态,臭氧源
     。等离子体(仅供200mm晶圆使用,最多4路气体)
     。前驱源余量传感器,并提供清洗和装源服务
     。6条独立源管线,最多加载8个前驱体源(最多12个前驱体源,加上plasma管路共7根独立源管线)

 

重量:820 kg
 

尺寸:(W x H x D) 160 cm x 80 cm x 240 cm
 

选件: 集群工具,PICOFLOW™扩散增强,N2发生器,尾气处理,定制设计,与工厂软件连接服务。
 

验收标准 :

        。标准设备验收标准为Al2O3工艺,
        。其他工艺可具体协商:其他工艺、应用具体验收标准如:
            - 不均匀性
            - 颗粒物含量
            - 重金属污染
            - 电学性能

 


售后服务
保修期: 1年
是否可延长保修期:
现场技术咨询:
免费培训: 免费安装及技术培训
免费仪器保养: 6个月一次。
保内维修承诺: 经确认质量问题,免费更换。
报修承诺: 24小时内到达现场并开始维修
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原子层沉积P-300S Pro ALD 的工作原理介绍

原子层沉积P-300S Pro ALD 的使用方法?

P-300S Pro ALD 多少钱一台?

原子层沉积P-300S Pro ALD 可以检测什么?

原子层沉积P-300S Pro ALD 使用的注意事项?

P-300S Pro ALD 的说明书有吗?

原子层沉积P-300S Pro ALD 的操作规程有吗?

原子层沉积P-300S Pro ALD 报价含票含运吗?

P-300S Pro ALD 有现货吗?

工商信息

企业名称

深圳市蓝星宇电子科技有限公司

企业信息已认证

企业类型

有限责任公司

信用代码

91440300789207446B

成立日期

2006-05-17

注册资本

1080万

经营范围

机械设备研发,工程和技术研究和试验发展,半导体器件专用设备销售,光学仪器销售,实验分析仪器销售,集成电路芯片及产品销售,电子专用材料销售。

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深圳市蓝星宇电子科技有限公司为您提供芬兰PICOSUN原子层沉积机P-300S Pro ALD ,nullP-300S Pro ALD 产地为芬兰,属于进口原子层沉积设备,除了芬兰PICOSUN原子层沉积机P-300S Pro ALD 的参数、价格、型号、原理等信息外,还可为您提供更多原子层沉积设备,蓝星宇客服电话400-860-5168转4527,售前、售后均可联系。
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